SEMの操作方法マニュアル

歴史

1927年　ドイツ　　　　　　ハンス・ブシュ（Hans Busch）

　　　　　磁場の電子線に対するレンズ作用を実験で示す

 

1931年　ベルリン工科大学　マックス・クノールとエルンスト・ルスカ

　　　　　　　　　　　　　最初の電子顕微鏡（TEM）を開発（倍率17倍）

　　　　　　　　　　　　　ルスカはその後性能を高める（1933年で倍率1万2000倍）

 

1931年　ドイツ　　　　　　レインホールド・ルーデンベルク

　　　　　　　　　　　　　　（シーメンスの科学ディレクター）

　　　　　　電子顕微鏡の特許をとる．その後シーメンス社は商品化

 

1935年　ドイツ　　　　　　マックス・クノール

　　　　　　電子線を走査して像を得るというSEMの原型を示す

 

1937年　ドイツ　　　　　　マンフレート・フォン・アルデンヌ

　　　　　　走査型電子顕微鏡（SEM）を製作

　　　　　　 1950年代から多くの分野で活用

　　　　　　短波長の電子線（加速電圧の向上）などによって性能は向上

 

1942年　アメリカRCA　　ツヴォルキン（Zworykin）

　　　　　　バルク試料観察のためのSEMを開発

　　　　　　得られた二次電子像はTEMのレプリカ法で得られたものに比べ，かなり劣っていたためRCAでのSEM開発は打ち切られる

 

1953年　イギリス　　　　　マクマラン（McMullan）

　　　　　　加速電圧15〜20kvで解像力50nmをもつSEMを完成

 

1965年　イギリス　　　　　Cambridge Scientific Instrument社

　　　　日本　　　　　　　日本電子株式会社

　　　　　　この2社がSEMを商品化

　　　　　　 1965年までに現在の二次電子検出器の原型となるE-T検出器，種々の観察手法，その他の応用技術が開発された

 

1970年代　　　　　　　　　原子の姿をとらえることに成功

日本　菅田榮治（大阪大学）が初めて国産第一号，倍率一万倍の電子顕微鏡を完成

　　　瀬藤象二が国産化のための技術開発に貢献

研究室の走査型電子顕微鏡を使いたいときに使ってください！